島津EDX-7000/8000X射線熒光就是被分析樣品在X射線照射下發出的X射線，它包含了被分析樣品化學組成的信息，通過對X射線熒光的分析確定被測樣品中各組份含量的儀器就是X射線熒光分析儀。

 

　　島津EDX-7000/8000X射線具有波粒二象性，既可以看作粒子，也可以看作電磁波。看作粒子時的能量和看作電磁波時的波長有著一一對應關系。這就是普朗克公式：E＝hc/λ。

 

　　無論是測定能量，還是波長，都可以實現對相應元素的分析，其效果是一樣的。當能量高于原子內層電子結合能的高能X射線與原子發生碰撞時，驅逐一個內層電子而出現一個空穴，使整個原子體系處于不穩定的激發態，激發態原子壽命約為10－12－10－14s，然后自發地由能量高的狀態躍遷到能量低的狀態。

 

　　這個過程稱為馳豫過程。馳豫過程既可以是非輻射躍遷，也可以是輻射躍遷。當較外層的電子躍遷到空穴時，所釋放的能量隨即在原子內部被吸收而逐出較外層的另一個次級光電子，此稱為俄歇效應，亦稱次級光電效應或無輻射效應，所逐出的次級光電子稱為俄歇電子。它的能量是特征的，與入射輻射的能量無關。

 

　　根據分光方式的不同，x射線熒光分析可分為能量色散和波長色散兩類，也就是通常所說的能譜儀和波譜儀。通過測定熒光x射線的能量實現對被測樣品分析的方式稱之為能量色散x射線熒光分析，相應的儀器稱之為能譜儀，通過測定熒光x射線的波長實現對被測樣品分析的方式稱之為波長色散x射線熒光分析，相應的儀器稱之為X射線熒光光譜儀。

 

　　X射線測量是隨機事件的統計測量，是由統計規律決定的，計數的絕對量取決于測量時間，并直接決定著測量誤差的大小，足夠長的測量時間是測量精度的前提條件，為了保證測量精度，要有足夠的測量時間以及足夠的計數率。